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연합인증

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그레이스케일 포토리소그래피를 이용한 회절광학소자의 제작
Fabrication of Diffractive Optical Elements with Grayscale Photolithography 원문보기

한국광학회 2004년도 제15회 정기총회 및 동계학술발표회, 2004 Feb. 12, 2004년, pp.130 - 131  

김완진 (연세대학교 정보저장기기 연구센터) ,  이명복 (삼성종합기술원 Storage Lab) ,  손진승 (삼성종합기술원 Storage Lab) ,  조은형 (삼성종합기술원 Storage Lab) ,  윤찬영 (연세대학교 정보저장기기 연구센터) ,  박노철 (연세대학교 정보저장기기 연구센터) ,  박영필 (연세대학교 정보저장기기 연구센터)

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문제 정의

  • p data-page="1">초소형 광저장 장치에서는 광부품의 수를 줄이고 고개구수를 갖는 굴절 광학계를 필요로 하므로 단 면 비구면 또는 양면비구면 렌즈 등의 광부품만으로 원하는 광학성능을 얻고자 한다. 그러나 이러한 비구면 렌즈의 사용은 구면 렌즈를 사용할 때의 구면 수차를 보상할 수 있는 반면에, 청자 색 레이저를 사용하는 파장대(405nm~415nm)에서 파장의 미소한 변화에 따른 색수차의 양이 크게 증가하여, 광 정보의 재생 또는 기록시 측정노이즈로 작용하게 된다.
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