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제안 방법
- 본 시스템의 구성도는 그림 2와 같이 간략히 나타낼 수 있다. 그림 2에서 보는 바와 같이 광원으로는 400~700nm의 광대역폭의 백색광을 사용하고, 이를 측정 시편인 박막에 조사를 한다. 박막에 입사된 광은 박막의 상층부와 하층부에서 각각 반사되어 간섭 신호를 형성하고 이를 분광기에서 주파수 별로 분석을 하면 그림 3과 같은 신호를 얻는다.
- p data-page="1">본 연구는 분산형 백색광 간섭계'I)의 개념을 도입하여 투명 박막이나 LCD의 칼라 필터의 두께를 빠른 속도로 측정을 하여 LCD나 PDP 같은 각종 디스플레이를 코팅하고 있는 과정에서 대두되고 있는 박막 두께의 비균일성을 사전에 미리 파악해 조기에 불량품을 발견함으로써, 공정 경비를 절감하는 효과를 가져온다. 분산형 백색광 간섭계는 기존의 광간섭계와는 달리 별도의 이송 장치를 사용하지 않고, 광의 스펙트럼만을 분석하기 때문에 외부 진동에 강인하고 실시간 측정이 가능하게 된다.
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