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NTIS 바로가기한국진공학회 2004년도 제27회 학술발표회 초록집, 2004 Aug. 19, 2004년, pp.143 - 143
최원석 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) , 김경해 (성균관대학교 정보통신공학부) , 이준신 (성균관대학교 정보통신공학부) , 홍병유 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터)
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