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제안 방법
- [그림 1]의 (b) 에는 개선된 페인산회수 공정을 나타내었는데, 유해한 혼합산가스의 대기 배출을 줄이고 중화 세정 탑에서 발행하던 염을 해결하기 위해 농축 탱크 후단에 증류된 질산, 초산과 물을 냉각 시켜 응축하여 회수하기 위한 열교환기 형태의 저온응축 장치와 응축된 혼합 산을 저장/배출하는 응 측 탱크를 설치하였고, 감압을 통한 증류 시간 단축 및 고순도의 인산 용액을 정제하기 위한 이젝터시스템을 추가하여 구성하였다. 여기서 이젝터(Ejector)는 내부에 설치된 노즐로부터 높은 유속으로 분사되는 유체의 운동에너지에 의하여 저에너지의 유체를 흡입하는 일종의 펌프로서, Gas, 액체 및 분 체 등을 흡입하여 배출하거나, 이송, 혼합시키는 공정에 사용을 하게 되는데, 본 연구에서는 작동 유체로 물을 분사하여 농축탱크에서증발되는 질산, 초산 및 수증기를 흡입하여 농축 탱크, 저온응축 장치 및 응축탱크의 압력을 -740 mmHg까지 감압시키고, 노즐을 통해 분사되는 물에 저온응죽장치와 응죽탱크에서 응죽되지 못한 질산 및 초산을 흡수하여 중화 세정 탑으로 배출되는 유해가스를 최소화하였다.
- 재판매 하고 있다. 본 연구에서는 기본적인 증류 공정으로 구성되어 여러 직무 기피 요인을 야기해왔던 참여업체의 폐 인산 회수공정을 개선하였는데, 크게 열교환기 형태의 저온응축회수 장치와 응축탱크를 설치하고, 농축 탱크 및 저온응축 장치를 감압상태에서 운전되도록 이젝터시스템을 적용하였다.
- 본 연구에서는 반도체 에칭 공정에서 발생되는 질산, 초산, 인산 및 기타 불순물이 섞인폐흔합산을 원료로 하여 증류 공정을 적용하여 재판매가 가능한 85% 이상 농도의 정제 인산으로 회수하는 공정을 대상으로 하여, 저온응축회수 장치 및 이젝터시스템을 설치/적용하였다. 저온응축회수장치에서는 증류되어 배출되던 질산 및 초산의 혼합 산을 90%정도 회수하였고, 이젝터시스템은 농축조 및 저온응축 장치를 감압시킴으로써 증류에 필요한 온도를 140-15 0°C에서 100°C 정도로 낮추었으며, 1 batch 완료에 12시간 이상 소요되었으나, 개선 후에는 약 8시간이 소요되어 30% 정도 공정시간을 단축시켜, 생산성 증가와 더불어 승온 및 온도 유지에 필요한 스팀공급량이 줄어들게 되어 스팀생산에 사용된 에너지 절감으로 개선효과가 나타났다.
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