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[국내논문] 반도체공장 Clean Room에 대한 화재요인 분석 및 성능위주 화재안전설계
Fire Hazard Analysis and Performance Based Fire safety Design for the Clean Room in Semiconductor Factory 원문보기

대한안전경영과학회 2006년도 추계공동학술대회, 2006 Nov. 18, 2006년, pp.325 - 336  

한수진 (명지대학교) ,  강경식 (명지대학교 산업공학과)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

This research analyzes clean room major fire prevention standard of clean Room (FM, IRI, and NFPA Code), the structure of Performance-Based Fire Safety Design (PBD) applied the korean fire industry situation. Performance-Based Fire Safety can operate effectively the performance of fire protection eq...

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 연구의 근본적인 목적은 기존의 사양중심적인 화재안전 설계의 분석과 적용으로 되어있는 반도체공장의 Clean Room에 대해 성능위주의 화재안전설계를 적용하여 비교, 분석하여 경비절감과 성능위주의 소방안전설계의 국내 정착화의 초석을 만드는데 그 목적이 있다.
  • 이를 위하여 본 연구에서는 clean room에서의 위험요인을 분석하고 성능위주의 화재안전설계를 국내에 정착시키고 국내 실정에 적합한 틀과 인정과정을 제시하고자 한다.
  • 히드록실아민, 에틸아민, 파이로카테졸(pyrocatechol; 1, 2-hydroxybenzene)을 함유하는 스트립 퍼 용액이 양성 감광성 수지 제거 공정에 사용되어진 사례를 보자. 용액은 석영 탱크에 저장되어 있었으며, 석영 코팅된 투입식 전열기(immersion heater)로 가열되고 있었다.
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