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제안 방법
- 관찰하였다. 또한 AFM으로 증착을 연속으로 한 시편과 증착 중 일정시간 중단하였다가 재 증착한 시편의 미세구조의 차이를 조사하였다.
- 일정한 flux를 가지는 구리 박막에 대하여 방해 없이 연속으로 증착시켰을 때의 응력거동의 변화와, 순간 응력이 압죽응력에서 인장응력으로 변하는 점과 인장응력에서 압축응력으로 변화하는 지점에서 박막 증착을 5분간 멈추었다가 재 증착하였을 때의 응력거동의 변화를 관찰하였다. 또한 AFM으로 증착을 연속으로 한 시편과 증착 중 일정시간 중단하였다가 재 증착한 시편의 미세구조의 차이를 조사하였다.
대상 데이터
- 즉시 그래프로 변환하여 나타난다. 기판은 4인치 Si(100)웨이퍼를 사용하였고, 증착 중에 곡률 반경을 더욱민감하게 측정하기 위하여 웨이퍼 두께를 100㎛가 되도록양면 연마하였다. 열증착기 챔버 내부의 압력은 2x 10-5 torr이하로 유지 시켰으며, 이어지는 모든 실험은 이와 동일한 압력에서 진행되었다.
- 본 실험의 장치는 진공 열증착법(thermal evaporation) 과 X, Y로 정렬되는 레이저 반사장치로 구성되어 있으며, 반사되는 레이저 포인트들의 변화는 증착되는 동안 응력의 변화를 즉시 그래프로 변환하여 나타난다. 기판은 4인치 Si(100)웨이퍼를 사용하였고, 증착 중에 곡률 반경을 더욱민감하게 측정하기 위하여 웨이퍼 두께를 100㎛가 되도록양면 연마하였다.
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