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문제 정의
- 본 연구에서는 TFT-LCD 회로 중 개방 결함이 있을 경우, 레이저 증착을 통해 결함을 수정하는 장비의 개발을 목적으로 레이저 증착 공정에 관한 연구를 수행하였고, 다양한 증착 물질과 기질에 대한 연구가 이루어졌다. 분석 및 평가는 증착물의 적합성에 대한 판정 기준이 되는 증착물의 형상, 접착성, 전기적 특성에 대해 이루어졌고, 이를 기반으로한 반응 메커니즘은 광분해 반응과 열분해 반응을 동시에 수반하는 복합형 메커니즘이라 할 수 있다.
- 본 연구에서는 레이저 증착에 의한 미세 패턴 형성을 통해 TFT-LCD의 개방형 회로 결함을 보수하는 공정을 개발하였고, 개발 결과를 실제 양산을 위한 생산현장에 적용할 수 있는 장비로 구현하는 작업을 실시하였다. 실제 장비에의 응용을 위해 개방형 챔버를 사용하였고, 가스 흐름에 대한 시뮬레이션을 통해 챔버를 제작하였다.
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