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반도체 Wet Station을 위한 효율적인 알고리즘에 관한 연구
A Study on Efficient Algorithm for Semiconductor Wet Station 원문보기

한국산학기술학회 2004년도 추계학술대회, 2004 Nov. 01, 2004년, pp.111 - 113  

고숭호 (천안대학교 기술대학원) ,  강경우 (천안대학교 기술대학원)

초록
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최근 반도체 제조공정의 많은 부분이 트랙(Track)장비 형태로 구성되어져있다. 이러한 복합제조 장비들은 각 모듈간의 상호 작용이 복잡하고 체제 가능시간도 엄격히 제안되고 있어 각각의 모듈들을 효율적으로 운용하기 위해서 반드시 스케줄러가 필요 되어 진다. 하지만 우리나라에서 대표적 트랙장비로 달수 있는 Wet Station에 대한 스케줄링 분야에 대한 연구는 미약한 편이며 앞으로 많은 연구와 개발이 필요한 시점이다. 본 논문은 Wet Station 장비의 운용 효율성을 극대화할 수 있는 Wet Station 장비 운용방법을 제안하고 평가하는데 그 목적이 있다. 관련 소프트웨어기술은 향후 핵심적인 기술로 대두 대고 있을 뿐만 아니라 다른 LCD공정의 트랙장비, 인라인(In-Line) 장비, 클러스터 툴(Cluster Tool) 효율적 운용면에서 큰 도움이 될 것으로 기대 된다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 논문은 반도체 제조 기술에 관한 것으로, 특히 반도체 제조 장비 중 하나인 Wet Station 장비의 스케쥴링에 관한 것이다. 통상적으로, 반도체 제조 공정에서는 확산, 증착, 식각, 포토 공정을 반복적으로 진행하게 되며, 거의 모든 공정 전후에는 세정 공정을 실시하고 있다[5].
  • 이러한 문제로 인하여 현제 완벽한 스 케쥴링에 의한 작업으로 최대의 throughput을 산출 하는데 있어 많은 어려움을 안고 있는 것이 사실이며 지금도 많은 노력과 연구가 계속되어 지고 있는 분야이다. 이에 본 논문은 실 경험을 바탕으로 현재 적용되어진 스케쥴러 의 문제점과 보안 수정할 부분을 중심으로 최상의 throughput 얻어 낼 수 있는 구조로써 제안하고자 한다.
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