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문제 정의
- 한편, 레이저 가공 시 발생하는 폭압에 의한 가공부 돌기 발생 현상을 예측하기 위해서 레이저 조사에 따른 가공부 온도 상승 경향을 이용하여 판정할 수 있을 것으로 판단하였다. 따라서 레이저 조사 초기에 박막의 온도가 용융점 이상으로 상승하면 폭압에 의한 돌기 발생의 가능성이 높은 것으로 판정하도록 하였다.
- 가공된 구멍의 직경은 약 100 ㎛이 며, 크롬박막의 두께는 약 300nm 이다. 이 실험에서는 펨토초 레이저를 이용하여 크롬 박막의 표면 거동 및 가공 문턱 값을 찾기 위한 것으로 l~50mW 범위의 레이저 에너지 영역에서 실험을 수행한 것이다. 실험 결과 35mW 의 레이저 에너지에서 펄스의 증가에 따라 크롬 박막이 점진적으로 가공되는 것이 관찰되었으며, 폭압현 상에 의한 돌기의 높이가 약 20mW 정도 관찰되었 다.
가설 설정
- 크롬 박막에 대한 레이저 조사에 의한 온도 분포 해석을 수행하고, 온도가 특정 값 이상이면 가공일 일어난 것으로 가정하였다. 해석 결과 예측된 크롬 박막과 실리콘 기판의 온도 분포를 Fig.
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