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비정질 결정도에 따른 박막의 결합구조의 변화 원문보기

한국반도체및디스플레이장비학회 2007년도 춘계학술대회, 2007 June 08, 2007년, pp.39 - 42  

오데레사 (청주대학교자 이공대학 전자정보공학부, 반도체설계공학과)

초록
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최근 C-H 수소결합의 강한 상한 상호작용에 의하여 blue shift를 나타내는 현상이 보고 되고 있다. 비정질 불화탄소의 화학적 이동유기 절연막의 경우, 화학적 이동의 원인은 매우 서로 다른 원인에 발생하지만 이러한 물질의 상호작용은 친핵성 첨가반응에 의한 것임을 확인하였다. a-C:F 박막의 화학적 이동은 XRD 패턴에 의해서 결합 구조와 연관이 있으며, C-H 결합이 불소에 의한 끌림현상으로부터 발생되면서 비정질 구조로 변하는 것을 확인하였다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 이 논문에서는 증간절연막을 위한 유기물화합물에 대하여 화학적 원인이 일어나는 원인에 대한 화학적 반응들에 대하여 검토하고 화학적인 변화가 박막의 물리적인 특성에 미치는 영향을 고찰하였다.
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