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문제 정의
- 최근에 회전하는 구동 시스템을 위한 여러가지 형태의 다공성 에어베어링이 개발되어져서 회전 스테이지의 개발이 용이하게 되었다. 따라서 본 논문에서는 다공성 에어베어링과 에어부싱을 이용한 회전형 스테이지의 설계를 수행하였다.
- 본 연구에서는 에어베어링을 적용한 회전 스테이지의 설계에 관해 연구하였다. 에어베어링은 회전스테이지에서 요구되는 축방향 오차, 반경방향 오차, 기울임 오차를 최소화 하거나 보정하기 위해 적용 되었으며 이에 따른 정밀도에 대한 목표 성능에 대해 제시 하였다.
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