첨단 산업이 발전함에 따라 광학, 우주 항공 및 반도체 분야의 고정밀 부품에 대한 요구가 증가하고 있다. 고정밀 부품 생산을 위해서는 초정밀급 스테이지가 필요하다. 에어베어링 스테이지의 장점으로 인해 초정밀 스테이지에 광범위하게 적용되고 있지만 운동 오차를 완전히 배제할 수 없다. 에어베어링 스테이지의 운동 오차를 측정하고 보정하기 위한 기존의 연구가 있지만 이는 오차 측정 및 보정 시, 기구를 따로 설치해야하는 번거로움이 따른다. 따라서 스테이지의 구동 및 측정을 일체화하고, 스테이지 자체 구성요소로 오차를 보정하는 연구가 필요한 실정이다. 본 연구에서 개발한 에어베어링 스테이지는 실시간 오차 측정 및 공압 조절을 통한 오차 보정을 통해서 기존의 이원화 된 측정 및 보정 기능을 통합하였다. 실시간 운동 오차를 측정하기 위해 기준 미러와 5 개의 정전용량센서가 스테이지 내부에 배치하여 측정된 위치 오차를 ...
첨단 산업이 발전함에 따라 광학, 우주 항공 및 반도체 분야의 고정밀 부품에 대한 요구가 증가하고 있다. 고정밀 부품 생산을 위해서는 초정밀급 스테이지가 필요하다. 에어베어링 스테이지의 장점으로 인해 초정밀 스테이지에 광범위하게 적용되고 있지만 운동 오차를 완전히 배제할 수 없다. 에어베어링 스테이지의 운동 오차를 측정하고 보정하기 위한 기존의 연구가 있지만 이는 오차 측정 및 보정 시, 기구를 따로 설치해야하는 번거로움이 따른다. 따라서 스테이지의 구동 및 측정을 일체화하고, 스테이지 자체 구성요소로 오차를 보정하는 연구가 필요한 실정이다. 본 연구에서 개발한 에어베어링 스테이지는 실시간 오차 측정 및 공압 조절을 통한 오차 보정을 통해서 기존의 이원화 된 측정 및 보정 기능을 통합하였다. 실시간 운동 오차를 측정하기 위해 기준 미러와 5 개의 정전용량센서가 스테이지 내부에 배치하여 측정된 위치 오차를 알고리즘을 통해 공압을 이용하여 오차를 보정하였다.
첨단 산업이 발전함에 따라 광학, 우주 항공 및 반도체 분야의 고정밀 부품에 대한 요구가 증가하고 있다. 고정밀 부품 생산을 위해서는 초정밀급 스테이지가 필요하다. 에어베어링 스테이지의 장점으로 인해 초정밀 스테이지에 광범위하게 적용되고 있지만 운동 오차를 완전히 배제할 수 없다. 에어베어링 스테이지의 운동 오차를 측정하고 보정하기 위한 기존의 연구가 있지만 이는 오차 측정 및 보정 시, 기구를 따로 설치해야하는 번거로움이 따른다. 따라서 스테이지의 구동 및 측정을 일체화하고, 스테이지 자체 구성요소로 오차를 보정하는 연구가 필요한 실정이다. 본 연구에서 개발한 에어베어링 스테이지는 실시간 오차 측정 및 공압 조절을 통한 오차 보정을 통해서 기존의 이원화 된 측정 및 보정 기능을 통합하였다. 실시간 운동 오차를 측정하기 위해 기준 미러와 5 개의 정전용량센서가 스테이지 내부에 배치하여 측정된 위치 오차를 알고리즘을 통해 공압을 이용하여 오차를 보정하였다.
As the high-tech industry is developed, demands for high-precision components in optical, aerospace and semiconductor fields are increasing. For the production of high precision parts, a stage with high accuracy feed-drive system is required. Air bearing stages have widely applied due to its advanta...
As the high-tech industry is developed, demands for high-precision components in optical, aerospace and semiconductor fields are increasing. For the production of high precision parts, a stage with high accuracy feed-drive system is required. Air bearing stages have widely applied due to its advantages, but it is not completely able to eliminate the motion error. There are existing studies to measure and compensate the motion error of the air bearing stage. However, it is not sufficient to achieve ultra-precision positioning. Therefore, it is necessary to study air-bearing stage, which is integrated with the driving part and the measuring part. The stage is able to measure the real time motion error, and able to be compensated by adjusting air pressure module. In this study, a reference mirror is located in air-bearing stage. Five capacitive sensors are placed inside the stage to measure real time motion errors, and the positioning error is compensated through the proposed algorithm.
As the high-tech industry is developed, demands for high-precision components in optical, aerospace and semiconductor fields are increasing. For the production of high precision parts, a stage with high accuracy feed-drive system is required. Air bearing stages have widely applied due to its advantages, but it is not completely able to eliminate the motion error. There are existing studies to measure and compensate the motion error of the air bearing stage. However, it is not sufficient to achieve ultra-precision positioning. Therefore, it is necessary to study air-bearing stage, which is integrated with the driving part and the measuring part. The stage is able to measure the real time motion error, and able to be compensated by adjusting air pressure module. In this study, a reference mirror is located in air-bearing stage. Five capacitive sensors are placed inside the stage to measure real time motion errors, and the positioning error is compensated through the proposed algorithm.
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