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문제 정의
- 및 이송시키는 7세대 LCD-g- 비접촉식 이송방법 (air-cushion)에 대해 다루고 있다. 그리고 에어 패드에 대한 3차원 유동해석을 통해 유리평판을 보다 안정적으로 부상 및 이송시킬 수 있는 에어 패드 형상을 제안하고, 설계에 필요한 기초 자료를 제공하고자 한다.
- 따라서 Jun 등(4)의 연구에서와 같이 위치 B에서 나타나는 높은 압력을 고려하지 않고, 위치 A에서의 압력분포만으로 유리평판 전체에 작용하는 압력을 평가하는 것은 타당하지 않다. 따라서 본 연구에서는 유리평판 전체의 압력 균일도 계산을 통해 Pi의 변화에 따른 압력분포를 나타내었다.
- 본 연구에서는 에어패드(air-pad)에 존재하는 다수의 홀에서 고속의 기체를 분사하여 유리 평판을 부상 및 이송시키는 7세대 LCD-g- 비접촉식 이송방법 (air-cushion)에 대해 다루고 있다. 그리고 에어 패드에 대한 3차원 유동해석을 통해 유리평판을 보다 안정적으로 부상 및 이송시킬 수 있는 에어 패드 형상을 제안하고, 설계에 필요한 기초 자료를 제공하고자 한다.
- 본 연구에서는 유리평판 하부에 작용하는 압력 의 균일도를 증가시키기 위해 에어패드의 설계 변수인 P1과 P2의 변화에 따라 유리평판 하부에 작용하는 압력분포를 해석하였다. 먼저 P1과 P2를 동일하게 두고, Pi의 변화에 대한 해석을 수행하였다.
가설 설정
- ① 각 2차 가스 분사구에서 분사되는 가스의 유량은 동일하며, 2차 가스 분사구에서 분사된 유량의 합은 1차 가스 분사구에서 유입된 유량과 같다.
- ③ 유리평판의 휨이나 스퍼터링 공정 중의 스트레스로 인한 변형은 고려하지 않는다.
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