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NTIS 바로가기대한전기학회 1995년도 추계학술대회 논문집 학회본부, 1995 Nov. 18, 1995년, pp.603 - 605
박경호 (한국전자통신연구소, 반도체연구단 미세구조연구실) , 이춘수 (한국전자통신연구소, 반도체연구단 미세구조연구실) , 정영이 (한국전자통신연구소, 반도체연구단 미세구조연구실) , 이재열 (한국전자통신연구소, 반도체연구단 미세구조연구실) , 이용일 (한국전자통신연구소, 반도체연구단 미세구조연구실) , 최부연 (한국전자통신연구소, 반도체연구단 미세구조연구실) , 이종현 (한국전자통신연구소, 반도체연구단 미세구조연구실) , 유형준 (한국전자통신연구소, 반도체연구단 미세구조연구실 CC0186800<)
We present a novel method. to fabricate surface micromachined structures without their sticking on the substrate. An anhydrous HF/
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