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NTIS 바로가기대한전기학회 2003년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문, 2003 Oct. 31, 2003년, pp.42 - 44
박태규 ((주) 울텍) , 김준태 ((주) 울텍) , 김국진 (한국표준과학연구원) , 석창길 ((주) 울텍)
The paper presents the method and apparatus for conformal photoresist spray coating on the 3D structured substrate. The system consists of a high-temperature-rotational chuck, ultrasonic spray nozzle module, angle control module and nozzle moving module. The coating uniformity is acquired by control...
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