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NTIS 바로가기대한전기학회 1999년도 추계학술대회 논문집 학회본부 C, 1999 Nov. 20, 1999년, pp.879 - 881
이호준 (위덕대학교 전기공학과) , 태흥식 (경북대학교 전자전기공학부)
Radical and ion densities in a CF4 plasma have been calculated as a function of input power density. 9as pressure and feed gas flow rate using simple 0 dimensional global model. Fluorine atom is found to be the most abundant neutral particle. Highly fragmented species such as CF and CF+ become domin...
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