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표면 미세가공기술을 이용한 마이크로 광학소자 및 구동기의 제작
Fabrication of Micro-optical Components and Actuators using Surface Micromachining 원문보기

대한전기학회 1999년도 추계학술대회 논문집 학회본부 C, 1999 Nov. 20, 1999년, pp.1151 - 1153  

김건년 (전자부품연구원) ,  박광범 (전자부품연구원) ,  정석원 (전자부품연구원) ,  이보나 (전자부품연구원) ,  김인회 (전자부품연구원) ,  문현찬 (전자부품연구원) ,  박효덕 (전자부품연구원) ,  신상모 (전자부품연구원)

초록
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3-layer polysilicon 표면미세가공공정을 이용하여 micro zone plate 렌즈와 미러 및 이를 구동하기 위한 구동기를 일체화시킨 마이크로 구동형 광학소자를 설계, 제작하였다. 650nm의 파장대역에서 초점거리가 $500{\mu}m$가 되도록 마이크로 zone plate 렌즈를 설계하였으며, 렌즈의 광학축은 실리콘 기판 상에서 $121{\mu}m$거리에 위치하도록 제작하였다. 마이크로 hinge와 스프링 latch 및 측면지지 plate를 이용하여 마이크로 렌즈와 미러가 실리콘 기판상에서 out-of-plane동작이 가능하도록 하였다. 마이크로렌즈 초점거리의 가변을 위하여 6개의 SDA(Scratch Drive Actuator)어레이를 설계, 제작하였다. 또한 빔 반사를 위한 마이크로 미러를 설계하고 $45^{\circ}$ self-assembly를 위하여 마이크로 hinge와 SDA array를 제작하였다.

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