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NTIS 바로가기대한전기학회 2000년도 추계학술대회 논문집 학회본부 B, 2000 Nov. 25, 2000년, pp.229 - 231
전정우 (한국전기연구소 Mechatronics연구그룹) , 강도현 (한국전기연구소 Mechatronics연구그룹) , 김지원 (한국전기연구소 Facts & PQ 연구그룹) , 전진흥 (한국전기연구소 Facts & PQ 연구그룹) , 전영환 (한국전기연구소 Facts & PQ 연구그룹)
Precision control technologies are required for Lithography devices. The Linear BLDC Motor is used for operations of the stage. The stage is installed in Lithography devices. The stage is basically controlled though three directions (x, y, z axes). This paper presents precision control technologies ...
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