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[국내논문] 대구경 광학면 정밀가공을 위한 툴 영향 함수 기반 연마 제어 기법
TIF Based Material Removal Control for Deterministic Pitch Tool Polishing for Large Optics fabrication 원문보기

한국광학회 2007년도 동계학술발표회 논문집, 2007 Feb. 01, 2007년, pp.307 - 308  

이현수 (연세대학교 천문우주학과 우주광학연구실) ,  김석환 (연세대학교 천문우주학과 우주광학연구실) ,  양호순 (한국표준과학연구원 우주광학연구단) ,  이재협 (한국표준과학연구원 우주광학연구단) ,  이인원 (한국표준과학연구원 우주광학연구단) ,  이윤우 (한국표준과학연구원 우주광학연구단)

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문제 정의

  • 뉴턴의 발표 이후 현재까지도 피치 툴은 대표적인 연마 툴로서 사용되고 있다. 본 연구는 이러한 피치 툴에 툴 영향 함수를 도입하는 새로운 연마 기법의 초기 연구에 관한 이론 및 실험 결과에 관한 것이다.
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