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문제 정의
- 본 연구는 앞서 언급한 방법과는 달리 분산장치(회절격자나 프리즘 등)와 신호검출기(CCD나 PD 등)로 이루어진 분광기를 사용해 형성된 백색광 간섭무늬를 파장에 따라 분광시켜 스펙트럼을 분석하는 분산 백색광 간섭계에 관한 것이다.[2] 이러한 분산 백색광 간섭계의 개념을 도입하여 본 논문에서는 반도체 제조공정을 통해 제작되는 대부분의 투명 절연 층의 형상이나 TFT/LCD 등의 디스플레이에서의 컬럼 스페이서(column spacer)와 칼라 필터(color filter)의 형상 및 두께 측정 등의 불투명 패턴 위에 도포된 다양한 투명 박막의 두께 및 표면 형상을 측정하고자 한다.[3-4]
- 본 논문에서는 박막의 두께 및 형상을 실시간으로 측정할 수 있는 편광을 이용한 마이켈슨 간섭계 구조의 분산 백색광 간섭계를 제안하고 측정 결과를 얻어 보았다. 그 결과 다양한 형상을 가진 박막 구조물의 두께형상을 효과적으로 빠르게 측정함을 확인 할 수 있었다.
- [1] 이외에도 광원의 파장을 파장가변레이저나 음향광학변조기, 또는 액상결정공진기등을 이용하여 변화시키면서 간섭무늬를 얻는 방법도 있다. 본 연구는 앞서 언급한 방법과는 달리 분산장치(회절격자나 프리즘 등)와 신호검출기(CCD나 PD 등)로 이루어진 분광기를 사용해 형성된 백색광 간섭무늬를 파장에 따라 분광시켜 스펙트럼을 분석하는 분산 백색광 간섭계에 관한 것이다.[2] 이러한 분산 백색광 간섭계의 개념을 도입하여 본 논문에서는 반도체 제조공정을 통해 제작되는 대부분의 투명 절연 층의 형상이나 TFT/LCD 등의 디스플레이에서의 컬럼 스페이서(column spacer)와 칼라 필터(color filter)의 형상 및 두께 측정 등의 불투명 패턴 위에 도포된 다양한 투명 박막의 두께 및 표면 형상을 측정하고자 한다.
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