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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2005-0092978 (2005-10-04) |
공개번호 | 10-2006-0052004 (2006-05-19) |
등록번호 | 10-0631060-0000 (2006-09-26) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020050092978 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2005-10-04) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 백색광 간섭계를 이용한 투명박막의 두께 및 형상을 측정하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은 간섭광을 주파수별로 분광시킨 후 주파수별 제 1간섭무늬를 획득하고 합성간섭광을 주파수별로 분광시킨 후 주파수별 제 2간섭무늬를 획득한다. 제 1간섭무늬를 통해 박막의 두께로 인해 생성되는 위상을 얻고 위상으로부터 박막의 두께정보만을 획득한다. 제 2간섭무늬로부터 위상을 구하고, 박막두께정보가 포함된 박막표면정보를 획득한다. 박막두께정보를 이용해 박막두께정보가 포함된 박막표면정보로부터 박막의 표면정보를 획득한다. 따라서, 본
박막이 코팅된 측정물의 박막의 두께정보와 박막의 표면형상정보를 획득하는 방법에 있어서,백색광을 임의 방향의 편광광으로 만든 후 수평편광광과 수직편광광으로 분리하는 제1단계;수평편광광(혹은 수직편광광)을 박막이 코팅된 측정물에 입사시키고, 수직평광광(혹은 수평편광광)은 기준면에 입사시키는 제2단계;측정물에 입사된 광이 박막의 상층부와 하층부에서 반사되면서 간섭되어 간섭광을 생성시키는 제3단계;기준면에 입사된 광을 반사시켜 반사광을 얻고 상기 제3단계의 간섭광과 합쳐 합성간섭광을 생성시키는 제4단계;상기 제3단계의 간섭광을 주파수별로
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