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결정론적 피치 툴 광학 연마를 위한 TIF기반 물질제거 제어기법
TIF Based Material Removal Control for Deterministic Pitch Tool Polishing 원문보기

한국광학회 2006년도 하계학술발표회 논문집, 2006 July 01, 2006년, pp.339 - 340  

이현수 (연세대학교 천문우주학과 우주광학연구실, 한국표준과학연구원 우주광학연구단) ,  김석환 (연세대학교 천문우주학과 우주광학연구실) ,  양호순 (한국표준과학연구원 우주광학연구단) ,  이재협 (한국표준과학연구원 우주광학연구단) ,  이인원 (한국표준과학연구원 우주광학연구단) ,  이윤우 (한국표준과학연구원 우주광학연구단)

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문제 정의

  • 후)광학 거울의">광학거울의 연마기법으로 적용하기는 어려웠다. 본 연구는 최초로 피치 툴의 TIF를 이용한 대구경 광학 거울의 결정론적 연마기법을 개발하는 것을 목적으로 한다.
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