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NTIS 바로가기한국소성가공학회 2006년도 춘계학술대회 논문집, 2006 May 11, 2006년, pp.243 - 246
이혜진 (한국생산기술연구원 디지털성형공정팀) , 이낙규 (한국생산기술연구원 디지털성형공정팀) , 이근안 (한국생산기술연구원 디지털성형공정팀) , 이형욱 (한국생산기술연구원 디지털성형공정팀) , 최석우 (한국생산기술연구원 디지털성형공정팀)
In this paper, Experimental results on the measurement of mechanical properties of fine patterns in the MEMS structure are described. The mechanical properties of embossing patterns on metallic thin foil is measured using the nano indentation system, that is developed by Korea Institute of Industria...
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