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NTIS 바로가기대한전기학회 2009년도 제40회 하계학술대회, 2009 July 14, 2009년, pp.1345 - 1346
서재근 (한밭대학교) , 고기한 (한밭대학교) , 김재광 (한밭대학교) , 이종환 (한밭대학교) , 이유성 (한밭대학교) , 최원석 (한밭대학교)
In this study, transparent and conductive Al-doped zinc oxide (AZO) films were prepared on glass substrate by RF magnetron sputtering method using an Al-doped ZnO target (Al: 2wt.%) at room temperature as the thickness of 150 nm. We investigated the effects of the RF power between 100~350 W in the s...
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