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제안 방법
- Macleod 프로그램을 사용하여 640nm 및650nm 차단 필터를 설계하였으며 설계된 데이터를 이용하여 Ion-Assisted Deposition 장비를 사용, TiO2/SiO2 유전층을 다층 박막으로 증착하였다.
- 가시광선과 적외선 영역에서 주로 사용되어지는 광학 박막 물질로는 고 굴절률을 가지는 TiO2와 저 굴절률을 가지는 SiO2가 일반적으로 쓰인다. 본 실험에서는 카메라 모듈용으로 사용되어지는 적외선 차단 필터를 설계하고 이온빔 증착 장비를 이용하여 코팅 공정을 한 후에 각각의 특성들을 평가하였다. Macleod 프로그램을 사용하여 640nm 및650nm 차단 필터를 설계하였으며 설계된 데이터를 이용하여 Ion-Assisted Deposition 장비를 사용, TiO2/SiO2 유전층을 다층 박막으로 증착하였다.
- 코팅되어진 차단 필터의 특성을 관찰하고자 Spectrophotometer를 이용하여 투과도를 측정하였고, SEM 사진단면 관찰로 다층 박막의 두께를 알 수 있었으며, AFM 측정으로 표면의 거칠기 정도를 알 수 있었다. 이러한 결과로부터 필터의 파장을 조절하여 박막을 증착하였다. 640nm및 650nm 차단 필터는 설계 곡선과 각각 6nm 와 2nm 이내에서 일치하였으며, 400~ 600nm에서 80% 이상의 투과도를 보였고, 근적외선 영역인 700nm 이상에서는 1%이하의 투과도를 보였다.
- Macleod 프로그램을 사용하여 640nm 및650nm 차단 필터를 설계하였으며 설계된 데이터를 이용하여 Ion-Assisted Deposition 장비를 사용, TiO2/SiO2 유전층을 다층 박막으로 증착하였다. 코팅되어진 차단 필터의 특성을 관찰하고자 Spectrophotometer를 이용하여 투과도를 측정하였고, SEM 사진단면 관찰로 다층 박막의 두께를 알 수 있었으며, AFM 측정으로 표면의 거칠기 정도를 알 수 있었다. 이러한 결과로부터 필터의 파장을 조절하여 박막을 증착하였다.
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