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제안 방법
- 열처리는 급속열처리와 일반 로열처리 두 가지 방법으로 실험하였으며, 조건은 표 [에 나타낸 것처럼, RTA는 온도 2O(MOOP예서 90초간 온도의존성 실험과, 시간의존성 실험 晉 하였다. Furnace 열처리는 300^001 온도에서 1시간씩, 그리고 5(XTC에서 30분~180분으로 실험을 수행하였다.
- 로딩 하였다. 두께조절은 광학두께 측정방법으로, 23 주기로 TiO2/SiO2 물짍믍 증착하였다. 종두께는 약 5um 이며, 코팅후 투과또 .
- 본 연구에서는 TiO2 / SiO2를 이용하여 다층박막을 만둘고 투과도 矗 측정한 결과 包계값보다 낮은 투과도가 쵹정되었으며 투과도향삼을 위하여 열처라 실험율 진행하였다. SEM 이리지분석 결과 열처리 후 표면에 보였뎐 결함들의 기가 작아진 것으로 나타났고, 표면거챹기가 감소함으로재겵정화가.
- 가시광선과 적외선 따장 영역에서 주로 사용되는 광학박막 무질로는고 굴절餐을 가지는 HO2와 저 굴절뜨을 가쟈는 SiO2가 일반적이다[1, 2]. 본 연구에서는 카페라 모듈용으로 사용되어지는 적외선 차단 필터畳 国계하고 이온빔 증착 장비蜃 이용한 코팅 공정 후 열처리 특성믈 뿐석하였다.
- 및 표면거칠기 드의 쁙성을 뿐석하였다. 열처리는 급속열처리와 일반 로열처리 두 가지 방법으로 실험하였으며, 조건은 표 [에 나타낸 것처럼, RTA는 온도 2O(MOOP예서 90초간 온도의존성 실험과, 시간의존성 실험 晉 하였다. Furnace 열처리는 300^001 온도에서 1시간씩, 그리고 5(XTC에서 30분~180분으로 실험을 수행하였다.
대상 데이터
- IR Cut Filter 코팅은 400um 두께의 유리기판(Shat* 사, 잁본)을 사용하였으며, 기판 세정 후 Ion・assisted deposition 증착챔버에 로딩 하였다. 두께조절은 광학두께 측정방법으로, 23 주기로 TiO2/SiO2 물짍믍 증착하였다.
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