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제안 방법
- 따라서, 본 연구에서는 RF magnetron sputtering법을 이용하여 AZO 박막을 제조하고, 열처리 온도에 따른 전기적 특성을 분석하였다. 또한 XPS 분석을 통해 Zn, 시, 。의 결합 에너지를 측정하여, AZO 박막 내의 전기전도도에 영향을 미치는 미세구조롤 해석하였다.
- 본 연구는 RF magnetron sputtering법으로 AZO 박막을 제조하고 600, 800 t 질소분위기에서 2시간 동안 in-situ 열처리를 실시하여, 열처리에 따른 전기전도도 향상을 분석하였다. XPS 분석에서 AZO 박막의 전기전도도 향상은 AZO 박막의 스트레스 완화보다는 Alzn, Zni 그리고 0、, 에의한 것임을 확인하였다.
- 본 연구에서는 2wt% AI2O3가 첨가된 ZnO 血'get을 이용하여 RF magnetron sputtering법으로 AZO 박막을 제조하였다. Sputtering 증착조건은 초기 진공도 8.
- 표 2. 열처리 전, 후 AZO 박막의 hall 萱과 분석.
- 이렇게 증착된 AZO 박막의 전기적 특성 향상을 위해 챔버내에서 in-situ 열처리를 실시하였다. 열처리는 질소분위기에서 Zn가 활성화하기 시작하는 430 P보다 높은 600 I와 800 ℃에서 2시간 동안 각각 진행하였고, 열처리 후에는 자연냉각을 실시하였다. 제조된 AZO 박막의 전기적 특성은 Hall 효과 측정 (HL5500PC) 을 이용하여 상온에서 측정하였고, AZO 박막 내 원소들의 성분 분석과 결합에너지는 XPS 분석(ESCA-LAB250)을 통해 이루어졌다.
- 。의 결합 에너지를 측정하여, AZO 박막 내의 전기전도도에 영향을 미치는 미세구조롤 해석하였다.
- 표 1에 AZO 박막의 증착을 위한 sputtering 조건이 정리되었다. 이렇게 증착된 AZO 박막의 전기적 특성 향상을 위해 챔버내에서 in-situ 열처리를 실시하였다. 열처리는 질소분위기에서 Zn가 활성화하기 시작하는 430 P보다 높은 600 I와 800 ℃에서 2시간 동안 각각 진행하였고, 열처리 후에는 자연냉각을 실시하였다.
- 열처리는 질소분위기에서 Zn가 활성화하기 시작하는 430 P보다 높은 600 I와 800 ℃에서 2시간 동안 각각 진행하였고, 열처리 후에는 자연냉각을 실시하였다. 제조된 AZO 박막의 전기적 특성은 Hall 효과 측정 (HL5500PC) 을 이용하여 상온에서 측정하였고, AZO 박막 내 원소들의 성분 분석과 결합에너지는 XPS 분석(ESCA-LAB250)을 통해 이루어졌다.
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