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열 화학기상증착법을 이용한 탄소나노튜브 성장에 촉매 및 성장온도 영향
Effect of Fe catalyst and growth temperature on growth of carbon nanotubes by thermal CVD 원문보기

한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8, 2007 June 21, 2007년, pp.418 - 419  

허성택 (금오공과대학교) ,  윤승일 (금오공과대학교) ,  이양규 (금오공과대학교) ,  김삼수 (금오공과대학교) ,  천현태 (금오공과대학교) ,  이동구

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Effects of Fe catalyst film and carbon nanotube (CNT) growth temperature on the characteristics of carbon nanotube were investigated in thermal chemical vapor deposition (CVD) process. Fe catalyst was prepared by DC magnetron sputter with thickness of 5-40 nm and pre-treated with ammonia gas. CNTs w...

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문제 정의

  • 여러 망법들 중에서 열화학기상증착법으로 탄소나노튜브를 성장시킬 경우에는 촉매 금속의 입자 기를 조절하여 탄소나노튜브의 직경을 조절할 수 있고 탄소 나노 입자와 같은 불순물이 거의 없어 정제 과정이 필요 없으며, 또한 성장조건의 용이성, 저온 합성, 기판 위에 수직으로 성장시킬 수 있다는 장점& 이 있다. 본연구에서는 Fe 촉매를 이용한 열 화학 기상 증착법에서 탄소나노튜브가 합성되는 동안 촉매의 역할 및 성장온도에 따른 영향을 알아보았다.
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