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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8, 2007 June 21, 2007년, pp.379 - 380
정진아 (금오공과대학교, 정보나노소재공학) , 최광혁 (금오공과대학교, 정보나노소재공학) , 문종민 (금오공과대학교, 정보나노소재공학) , 배정혁 (금오공과대학교, 정보나노소재공학) , 김한기 (금오공과대학교, 정보나노소재공학)
The characteristics of a co-sputtered indium zinc tin oxide (IZTO) films prepared by dual target dc magnetron sputtering from IZO and ITO targets at a room temperature are investigated. Film properties, such as sheet resistance, optical transmittance, surface work function and surface roughness were...
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