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스퍼터 ITO박막의 제조 공정 이해 및 활용
Application and Processes for Sputtered ITO Films 원문보기

한국표면공학회지 = Journal of the Korean institute of surface engineering, v.50 no.2, 2017년, pp.55 - 71  

송풍근 (부산대학교 재료공학부)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

Transparent Conductive Oxide (TCO), especially Indium Tin Oxide (ITO) films are almost prepared by DC magnetron sputtering because of the advantage of obtaining homogeneous large area coatings with high reproducibility. The purpose of this report is describe a detailed investigation of key factors d...

주제어

#Magnetron sputtering   #ITO films   #Amorphous TCO   #Thermoelectric property  

질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
In2O3이란 무엇인가? In2O3는 밴드갭이 3.75 eV인 wide-gap 반도체이며[1, 16], 완전히 화학양론조성을 만족하는 단결정은 절대온도 0K에서 전도대에는 전자가 존재하지 않으며, 가전자대에는 속박전자로 가득 차 있기 때문에 절연체적인 거동을 한다. ITO의 에너지 밴드 모델을 그림 1에 나타낸다.
투명전도막의 응용 분야는 무엇인가? 이렇게 모순된 두 가지의 조건을 동시에 만족하는 기능성박막은 투명전도막으로 이용되고 있다. 응용면에서는 LCD (Liguid Cystal Display), OLED (Organic Light Emitting Diode), Flexible Display, 태양전지, 박막형 열전재료, 그리고 건축물의 창유리 또는 자동차에 적용 가능한 열선반사막 등 다양한 분야에 응용되고 있다 [1-3].
투명전도성 산화물 (Transparent Conductive Oxide, TCO)박막이란 무엇인가? 투명전도성 산화물 (Transparent Conductive Oxide, TCO)박막은 가시광 영역(380 ~ 780 nm)에서의 높은 광투과율 (약 80% 이상)과 높은 전기전도성을 가지는 박막을 통칭하고 있다. 일반적으로 투명하다는 것은 광학적 에너지 밴드갭이 크고 (약 3 eV 이상) 전도전자인 캐리어가 매우 적다는 것을 의미한다.
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참고문헌 (37)

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