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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8, 2007 June 21, 2007년, pp.373 - 374
강태영 ((주)오카스) , 임성수 ((주)오카스) , 곽용석 ((주)오카스) , 장원수 ((주)오카스) , 한영수 (한국광기술원) , 박영식 (한국광기술원)
The amorphous silicon microbolometer array has been developed by the MEMS design and fabrication technology. Before the bolometer array for the image sensor being designed, the structure of unit cel I and 16x16 array of it was simulated, designed and fabricated. The properties of bolometer have been...
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