[논문]Electric Properties of Carbon Using Electrochemical Process

Lee, Sang-Heon

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[국내논문] Electric Properties of Carbon Using Electrochemical Process
전기화학 프로세스에 의한 Carbon 특성 원문보기

한국전기전자재료학회 2006년도 추계학술대회 논문집 Vol.19, 2006 Nov. 09, 2006년, pp.388 - 389

Lee, Sang-Heon (Department of Electronic Eng. Sun Moon University)

Abstract ▼ AI-Helper

Electro-deposition of carbon film on silicon substrate in methanol solution was carried out with various current density, solution temperature and electrode spacing between anode and cathode. The carbon films with smooth surface morphology and high electrical resistance were formed when the distance between electrode was relatively wider. The electrical resistance of the carbon films were independent of both current density and solution temperature.

AI 본문요약
AI-Helper

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

제안 방법

Engineering point of view, the ethylene glycol solution is so viscous and harmful that it has a problem to clean substrate after deposition.Hence, the objectives of this study is to prepare DLC in methanol soh」tion and characterize the final deposited film.

대상 데이터

1 is a schematic diagram of the deposition system. Analytically pure methanol (99.5%) was used as electrolyte. A silicon (100) substrate with a size of 15 x 20 x 0.

이론/모형

The potential applied to the substrate was controlled from 0 to 5000 V 니nde「 a constant temperature. Electric resistivity and surface morphology of deposited films were determined by four point probe method and scanning electron microscopy (JEOL 35C), respectively.

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