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문제 정의
- 이러한 변화 중에서 애벌런치 이득이 공정에 매우 민감하여 원하는 특성을 얻기가 힘들다. 본 논문에서는 식각공정 및 단일 확산공정으로 제작된 고속 APD의 특성이 가드링과 확산 영역사이의 폭과 식각 깊이에 따라 어떻게 영향을 받는지를 분석하고자 한다.
- 본 연구에서는 애벌런치 포토다이오드의 구조 변화에 따른 전압■전류 튺성 및 전기장 특성 변화에 대해 알아보았다. 시뮬레이션 결과 식각 깊이 변화를 작게하면 문턱 전압과 항복전압이 감소함을 확인 하였고 가뜨링과 확산영역 간의 폭을 변경하며 가드링의 盗과에 대해 확인을 할 수 있었다.
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