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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21, 2008 Nov. 06, 2008년, pp.343 - 344
한명수 (한국광기술원) , 안수창 (한국광기술원) , 강태영 ((주)오카스) , 임성수 ((주)오카스)
A surface micromachined uncooled microbolometer based on the amorphous silicon was designed, fabricated, and characterized. We designed the microbolometer with a pixel size of
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