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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21, 2008 Nov. 06, 2008년, pp.152 - 152
Han, Myung-Soo (Korea Photonics Technology Institute) , Ahn, Su-Chang (Korea Photonics Technology Institute) , Nam, An-Sik (JML Co.) , Kim, Jang-Hyun (JML Co.)
Micro probe with Ni-Co tip was designed. Unit processes for fabricating the micro probe were developed. We are investigated the micro probe tip using by Ni-Co alloy. One-step and three-step needle was fabricated by plating process, CMP, and photolithography process. The plating thickness was varied ...
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