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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2009년도 추계학술대회 논문집 Vol.22, 2009 Nov. 12, 2009년, pp.113 - 113
정재민 (울산대학교 전기전자정보시스템공학과) , 정귀상 (울산대학교 전기전자정보시스템공학과)
This paper describes the characteristics of a poly 3C-SiC micro heater which was fabricated on
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