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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2002년도 추계학술대회 논문집 Vol.15, 2002 Nov. 07, 2002년, pp.163 - 166
박천일 (고려대학교 미세소자공학 협동과정) , 염민수 (고려대학교 전기공학과) , 박전웅 (고려대학교 전기공학과) , 김재욱 (고려대학교 전기공학과) , 성만영 (고려대학교 전기공학과)
We investigated structural and electrical properties of Metal-Oxide-Semiconductor(MOS) structure using Hafnium
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