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문제 정의
- 본 연구에서는 rf magnetron sputtering 법으로 alumina rod 위에 NiCr 박막을 증착하여 고정밀저항기를 얻고자 하였다. NiCr 합금 박막을 선택한이유는 저항기의 설계가 용이하고, 주파수 특성이뛰어나고 잡음면에서 우수하기 때문이다.
- 본 연구에서는 고정밀 박막 저항체를 RF magnetron sputtering 법으로 제조한 결과 다음과 같은 결과를 얻을 수 있었다. NiCr 합금 박막은 미세결정성을 나타내었으며, 스퍼터 조건에 따라 Ni/Ci.
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