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적층형 압전소자의 내부전극과 세라믹 층간의 소성수축 정합 기술 원문보기

세라미스트 = Ceramist, v.12 no.5, 2009년, pp.48 - 56  

이재신 (울산대학교 첨단소재공학부) ,  정성규 (울산대학교 첨단소재공학부) ,  한형수 (울산대학교 첨단소재공학부) ,  정연학 ((주)삼전 기술연구소) ,  정순종 (한국전기연구원 에너지변환소자연구센터)

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문제 정의

  • Ag-PMNZT 복합소재 전극의 조성이 MLCA의 신뢰성에 미치는 영향을 살펴보기 위하여 내부전극 조성이 다른 MLCA의 장기 부하 신뢰성을 살펴보았다. 각 조성마다 10개의 MLCA를 2 kV/cm의 AC 전계를 인가하여 절연파괴가 일어나는 전계 인가 횟수를 Weibull 식을 이용하여 통계 처리하여30) 반복 전계 인가에 따른 신뢰도를 구하여 Fig.
  • 따라서 본 기고문에서는 압전세라믹 적층소자의 전극층과 세라믹 층간의 소성수축 정합성을 개선시키기 위한 다양한 연구 활동에 대해 살펴보고자 한다. 먼저 압전 소자 이외의 분야에서 이종소재 간의 소성 수축 정합성 개선을 위한 연구동향을 살펴보고, 본 연구진이 지난 수년 간 압전 소자 분야에서 수행한 연구결과를 소개하고자 한다.
  • 따라서 본 기고문에서는 압전세라믹 적층소자의 전극층과 세라믹 층간의 소성수축 정합성을 개선시키기 위한 다양한 연구 활동에 대해 살펴보고자 한다. 먼저 압전 소자 이외의 분야에서 이종소재 간의 소성 수축 정합성 개선을 위한 연구동향을 살펴보고, 본 연구진이 지난 수년 간 압전 소자 분야에서 수행한 연구결과를 소개하고자 한다.
  • 이러한 배경에서 본 연구진은 무연 압전세라믹 액추에이터 개발을 위하여 전극과 압전소재의 열수축 정합성에 관하여 체계적으로 연구하고 있다. 본 기고문에서는 현재까지 진행된 연구결과를 간략히 소개하고자 한다.
  • 본 논문에서는 적층형 압전 세라믹 소자에 있어서 내부전극과 세라믹 소지의 소성수축 부정합성을 해결하는 방법에 대해 살펴보았다. 일반적으로 Ag나 AgPd과 같은 내부전극용 소재는 PZT계 압전 세라믹 소재나 KNN계 무연 압전 소재와 비교하여 높은 열팽창계수를 가지고, 소결과정에 있어서도 더 낮은 온도에서 치밀화가 진행됨을 TMA 분석을 통하여 확인할 수 있었다.
  • 본 연구진에서는 이상과 같은 배경에서 내부전극의 조성이 압전 액추에이터의 특성에 미치는 영향을 최근 4년간 체계적으로 연구하였고,29,30) 그 결과들을 간략히 소개하고자 한다. Fig.
  • 이러한 배경에서 본 연구진은 무연 압전세라믹 액추에이터 개발을 위하여 전극과 압전소재의 열수축 정합성에 관하여 체계적으로 연구하고 있다. 본 기고문에서는 현재까지 진행된 연구결과를 간략히 소개하고자 한다.
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질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
열처리 과정에서 발생하는 delamination의 원인은? 이러한 열처리 과정에서 ‘delamination’이라 불리는 층간 박리가 발생할 수 있다. 층간 박리의 주된 요인은 탈지공정 동안 유기첨가물을 포함하고 있는 금속전극의 촉매반응과 동시소성 과정에서 내부전극과 세라믹 층간의 불충분한 부착력 때문이며,4,5) 또한 열 수축 특성의 부정합으로 인하여 계면에서의 미세균열들의 발생 혹은 외부전극의 납땜과 냉각과정에서의 응력 발생 등에 기인하는 것으로 알려졌다. 일반적으로 이러한 열처리 과정에서 발생한 미세균열과 내부 결함은 소성 불량을 일으키지 않더라도 제품 출하 후 사용 중에 MLCA의 성능저하와 피로 파괴의 주된 원인이 된다고 알려져 있다.
압전 및 전왜 재료를 이용한 액추에이터는 어디에 이용되고 있는가? 압전 및 전왜 재료를 이용한 액추에이터는 정밀한 미소변위 조절과 높은 발생력 등을 요구하는 광학 스테이지, 정밀 전자기기, 자동차 연료 분사장치, 반도체 공정 장비 등과 같은 산업분야에 널리 이용되고 있으며1,2), 특히 적층형 압전 세라믹 액추에이터(multilayer ceramic actuators, MLCA)는 기존의 전자석 액추에이터에 비해 빠른 응답속도, 뛰어난 정밀제어, 저소비 전력, 무소음과 같은 장점을 가짐으로써 정밀기계 및 전자기기 분야에서 광범위하게 연구되고 있다3).
적층형 압전 세라믹 액추에이터의 장점은? 압전 및 전왜 재료를 이용한 액추에이터는 정밀한 미소변위 조절과 높은 발생력 등을 요구하는 광학 스테이지, 정밀 전자기기, 자동차 연료 분사장치, 반도체 공정 장비 등과 같은 산업분야에 널리 이용되고 있으며1,2), 특히 적층형 압전 세라믹 액추에이터(multilayer ceramic actuators, MLCA)는 기존의 전자석 액추에이터에 비해 빠른 응답속도, 뛰어난 정밀제어, 저소비 전력, 무소음과 같은 장점을 가짐으로써 정밀기계 및 전자기기 분야에서 광범위하게 연구되고 있다3).
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