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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2006년도 영호남 합동 학술대회 및 춘계학술대회 논문집 센서 박막 기술교육, 2006 May 19, 2006년, pp.144 - 145
김경환 (경원대학교 전기정보공학과) , 금민종 (경원대학교 전기정보공학과)
In this study, the Al doped ZnO thin films were prepared by the facing targets sputtering(FTS) apparatus. The electrical characteristics, transmittance of ITO thin films were investigated as a function of varying input current and oxygen gas flow rate. As a result, the ITO thin film was prepared wit...
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