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문제 정의
- 본 연구에서는 실온에서 산소 가스 유량 및 기판 변화에 따라 제작된 ITO 박막의 연구를 통해 다음과 같은 결론을 얻을 수 있었다. 산소 가스 유량 3sccm에서 제작된 ITO 박막의(막 두께 50nm) 비저항이 가장 낮은 값을 얻을 수 있었으며, 산소 가스 유량을 3sccm으로 고정하여 ITO 박막 두께를 변화시켜 제작한 경우, 막 두께가 20~40nm로 증가 할 경우 비저항의 급격한 감소를 나타내었으며 그 이상 막 두께 증가 시 약간씩 감소하였다.
- 그러나 폴리머 기관의 경우 온도에 매우 취약한 단점을 갖고 있기 때문에 ITO 박막은 가급적 낮은 온도에서 제작해야만 한다. 따라서 본 연구에서는 산소 가스 유량비 변화에 따른 ITO 박막을 실온에서 제작하였으며 glass와 PC 기관을 사용하여 ITO 박막의 전기·광학적 특성 변화에 관해 연구하였다.
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