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[국내논문] PN 접합을 만들기 위한 확산공정
Diffusion Process for PN Junction in Solar Cell 원문보기

한국산학기술학회 2011년도 춘계학술논문집 1부, 2011 May 27, 2011년, pp.196 - 197  

오데레사 (청주대학교 전자정보공학부 반도체설계공학과)

초록
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실리콘 태양전지의 pn 접합 계면특성을 조사하기 위해서 p형 실리콘 기판 위에 전기로를 이용한 $POCl_3$ 공정을 통하여 n형의 불순물을 주입하여 pn접합을 만들었다. n형 불순물의 확산되어 들어가는 공정시간이 길고 공정온도가 높을수록 면저항은 줄어들었다. n형 불순물의 주입이 많아질수록 pn 접합 계면에서의 전자친화도가 줄어들면서 면저항은 감소되었다고 할 수 있다. n형 반도체의 페르미레벨이 높아지면서 공핍층도 생기지만 n형 불순물이 많아지면서 공핍층의 폭은 점점 좁아지고 쇼키 장벽의 높이도 낮아지면서 자유전자와 홀 쌍의 이동이 쉽게 이루어지게 되었다. n형의 불순물 확산공정시간이 긴 태양전지 셀에서 F.F. 계수가 높게 나타났으며, 효율도 높게 나타났다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 실험에서는 pn접합공정과 셀 효율의 상관관계를 조사하기 위해서 여러 가지 조건에서의 pn접합공정을 실시하여 면저항을 측정하고 태양전지 셀을 만들어 효율을 측정하였다.
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