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[국내논문] 멀티센서를 이용한 반도체 장비의 상황인지 시스템 설계
Design of Context-Aware System Using Multi-Sensor for Semiconductor Equipment 원문보기

한국해양정보통신학회 2010년도 춘계학술대회, 2010 May 27, 2010년, pp.547 - 549  

전민호 (한국기술교육대학교) ,  정승희 (한국기술교육대학교) ,  강철규 (한국기술교육대학교) ,  오창헌 (한국기술교육대학교)

초록
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본 논문에서는 실내 환경에서 반도체 장비 주변에 배치된 다수의 센서로부터 정보를 취득하고 취득된 정보를 바탕으로 반도체 장비의 상황을 인지하는 시스템을 제안한다. 제안하는 반도체 장비 상황인지 시스템은 가속도, 압력, 온도, 가스 센서로부터 정보를 취득하고 서버로 전송한다. 그리고 서버로 전송된 데이터는 단일이벤트와 다중이벤트의 상황인지 알고리즘을 통해 알람을 발생시킨다. 그 결과 불필요한 알람이 줄어 수준 높은 실시간 감시가 가능하고 주위의 정보를 한 번에 알 수 있어 효율적인 관리가 가능하다.

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

In this paper, we propose context-aware system for semiconductor equipment that acquires information from multiple sensors in indoor environment. This proposed system acquires information from acceleration, pressure, temperature and gas sensors then the acquired information send to server. The data ...

AI 본문요약
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* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 본 논문에서는 이와 같은 문제를 해결 할 수 있도록 멀티센서를 반도체 장비의 주변에 배치하여 장애가 될 수 있는 다양한 요인들을 실시간으로 감시하고 수집된 장애원인을 다각도로 파악할 수 있는 상황인지 시스템을 제안한다.
  • 본 논문에서는 실내 환경에서 반도체 장비 주변에 존재하는 다수의 센서로부터 정보를 습득하고 센싱된 정보를 바탕으로 반도체 장비의 상황을 인지하는 시스템을 제안하였다. 제안한 시스템은 가속도, 압력, 온도, 가스 센서로부터 정보를 습득하고 서버에서 상황인지 알고리즘으로 데이터를 처리하여 상황에 맞는 알람과 신뢰성이 높은 알람을 발생시키게 하였다.
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