$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

[미국특허] Semiconductor acceleration sensor 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-029/82
출원번호 US-0807179 (1997-02-27)
우선권정보 JP-0040128 (1996-02-27)
발명자 / 주소
  • Shinogi Masataka,JPX
  • Saitoh Yutaka,JPX
  • Kato Kenji,JPX
출원인 / 주소
  • Seiko Instruments R&D Center Inc., JPX
대리인 / 주소
    Adams & Wilks
인용정보 피인용 횟수 : 4  인용 특허 : 5

초록

A semiconductor device comprises a semiconductor acceleration sensor having a cuboid-shaped cantilever cut from a semiconductor wafer, a detecting device disposed on the cantilever for detecting a displacement of the cantilever due to an acceleration force applied to the cantilever, and a supporter

대표청구항

[ What is claimed:] [1.] A semiconductor device having a semiconductor acceleration sensor, comprising:a cuboid-shaped cantilever cut from a semiconductor wafer and having a strain sensitive section;a supporter for supporting the cuboid-shaped cantilever; andmeans for fixing at least one edge of the

이 특허에 인용된 특허 (5)

  1. Kloeck Benjamin (Hitachi JPX) Suzuki Seiko (Hitachioota JPX) Tsuchitani Shigeki (Mito JPX) Miki Masayuki (Katsuta JPX) Matsumoto Masahiro (Hitachi JPX) Sato Kazuo (Tokyo JPX) Koide Akira (Choufu JPX), Capacitive type semiconductor accelerometer.
  2. Dunn William C. (Mesa AZ) Liaw H. Ming (Scottsdale AZ) Ristic Ljubisa (Phoenix AZ) Roop Raymond M. (Scottsdale AZ), Monolithic circuit with integrated bulk structure resonator.
  3. Kurtz Anthony D. (Teaneck NJ) Ned Alexander A. (Bloomingdale NJ), Piezoresistive accelerometer with enhanced performance.
  4. Yamamoto Masahiro (Itami JPX), Semiconductor acceleration detecting apparatus.
  5. Tai Akira (Kasugai JPX) Yamada Toshitaka (Nagoya JPX) Fujihashi Yoshinori (Motosu JPX) Fukada Tsuyoshi (Aichi JPX) Shioya Hirohito (Chiryu JPX) Yoshino Yoshimi (Inuyama JPX) Sugito Hiroshige (Nagoya , Semiconductor strain sensor having improved resistance to bonding strain effects.

이 특허를 인용한 특허 (4)

  1. McAlexander, III, Joseph Colby, Bi-directional released-beam sensor.
  2. Yoshikawa Eiji,JPX ; Tsugai Masahiro,JPX, Semiconductor accelerometer switch.
  3. Tanaka Hiroaki,JPX ; Toyoda Inao,JPX ; Suzuki Yasutoshi,JPX, Semiconductor pressure sensor having strain gauges and stress balance film.
  4. Hattori, Atsuo; Matsuoka, Junya, Uniaxial acceleration sensor.
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로