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저온 대기압 플라즈마 방전 특성 원문보기

한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집, 2012 Feb. 08, 2012년, pp.522 - 522  

조이현 (광운대학교 전자물리과) ,  전부일 (광운대학교 전자물리과) ,  손찬희 (광운대학교 전자물리과) ,  윤명수 (광운대학교 전자물리과) ,  조태훈 (광운대학교 전자물리과) ,  강정욱 (광운대학교 전자물리과) ,  김동해 (광운대학교 전자물리과) ,  서일원 (광운대학교 전자물리과) ,  권기청 (광운대학교 전자물리과)

초록
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저온 대기압 플라즈마 제트는 가스 flow량에 따른 방전 특성 연구는 진행이 되고있으나 저온 대기압에서 플라즈마 제트 양극사이의 간격에 따른 방전전압 특성의 연구는 아직 진행이 미비한 상황이다. 본 연구에서는 저온 대기압 플라즈마 제트로 파셴곡선의 특성을 조사 분석하여 플라즈마 방전전압의 특성을 규명하고자 한다. 방전가스는 Ar을 사용하였으며 DC-AC 인버터로 고전압을 인가하여 플라즈마 제트 장비를 구동을 하였다. 그 결과 저온 대기압 방전에서 플라즈마 제트 양극 사이의 간격이 가까울수록 방전전압의 크기가 줄어드는 것을 확인을 할 수가 있었다.

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