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[국내논문] 스켈링이론에 따른 DGMOSFET의 문턱전압 특성분석
Analysis of Threshold Voltage Characteristics for Double Gate MOSFET Based on Scaling Theory 원문보기

한국정보통신학회 2012년도 춘계학술대회, 2012 May 26, 2012년, pp.683 - 685  

정학기 (군산대학교 전자공학과) ,  한지형 (군산대학교 전자공학과) ,  정동수 (군산대학교 전자공학과)

초록
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본 연구에서는 두개의 게이트단자를 가진 차세대 나노소자인 DGMOSFET에 대하여 문턱전압이하영역에서 발생하는 단채널효과 중 문턱전압 및 드레인유도장벽감소의 변화를 스켈링이론에 따라 분석하고자 한다. 포아송방정식의 분석학적 해를 구하기 위하여 전하분포함수에 대하여 가우시안 함수를 사용함으로써 보다 실험값에 가깝게 해석하였으며 이때 가우시안 함수의 변수인 이온주입범위 및 분포편차 그리고 소자 파라미터인 채널의 두께, 도핑농도 등에 대하여 문턱전압 특성의 변화를 관찰하였다. 본 연구의 모델에 대한 타당성은 이미 기존에 발표된 논문에서 입증하였으며 본 연구에서는 이 모델을 이용하여 문턱전압이하 특성을 분석할 것이다. 분석결과 스켈링이론 적용시 문턱전압 및 드레인유도장벽감소 현상이 변화하였으며 변화정도는 소자 파라미터에 따라 변화한다는 것을 관찰하였다.

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

This paper have presented the analysis of the change for threshold voltage and drain induced barrier lowering among short channel effects occurred in subthreshold region for double gate(DG) MOSFET with two gates to be next-generation devices, based on scaling theory. To obtain the analytical solutio...

AI 본문요약
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문제 정의

  • 이 모델은 이미 타당성이 입증되었으며 이 모델을 이용하여 단채널효과를 해석하였다[2]. 본 연구에서는 이 모델을 스켈링 이론과 접목하여 문턱전압의 특성을 분석하고자 한다. 스켈링 이론은 소자의 크기변화에 따라 출력특성을 일정하게 유지하기 위하여 사용되고 있는 이론으로서 기존의 CMOSFET의 경우 매우 만족할 만한 결과를 가져오고 있다.

가설 설정

  • 스켈링 이론은 소자의 크기변화에 따라 출력특성을 일정하게 유지하기 위하여 사용되고 있는 이론으로서 기존의 CMOSFET의 경우 매우 만족할 만한 결과를 가져오고 있다. 이 이론을 이중게이트 MOSFET에 적용하였을 때 문턱전압의 특성변화는 채널길이 및 게이트산화막두께의 범위에 따라 변화할 것이다. 즉, 스켈링 이론을 적용하였을 때 이중게이트 MOSFET의 채널 크기에 따라 스켈링 인자가 미치는 영향을 고찰 할 것이다.
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