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NTIS 바로가기한국진공학회 2013년도 제 45회 하계 정기학술대회 초록집, 2013 Aug. 21, 2013년, pp.159 - 159
Seo, Hyeon-Jin (성균관대학교) , Hwang, Gi-Hwan (성균관대학교) , Nam, Sang-Hun (성균관대학교) , Ju, Dong-U (성균관대학교) , Lee, Jin-Su (성균관대학교) , Yu, Jeong-Hun (성균관대학교) , Bu, Jin-Hyo (성균관대학교) , Yun, Sang-Ho (성균관대학교)
In this studying, we investigated the basic properties of N-doped plasma polymer. The N-doped plasma polymer thin films were deposited by radio frequency (13.56 MHz) plasma-enhanced chemical vapor deposition method. Various carbon-source were used as organic precursor with hydrogen gas as the precur...
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