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ZnO:As/ZnO:Al homo-junction LED의 V-I 특성 분석
Analysis on the V-I Curve of ZnO:As/ZnO:Al homo-junction LED 원문보기

한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집, 2007 Nov. 01, 2007년, pp.410 - 411  

오상현 (원광대학교 전기전자 및 정보공학부) ,  정윤환 (원광대학교 전기전자 및 정보공학부) ,  유연연 (원광대학교 전기전자 및 정보공학부) ,  박춘배 (원광대학교 전기전자 및 정보공학부)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

To investigate the ZnO LED which are interested in the next generation of short wavelength LEDs and Lasers, the ZnO thin films were deposited by RF magnetron sputtering system. The p-type ZnO thin film, fabricated by means of the ampoule-tube method, was used to make the ZnO p-n junction, and its ch...

AI 본문요약
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제안 방법

  • 제작하였다. ZnO p-n 접합을 위해 n-type ZnO 박막은 RF sputtering 방법으로 2 wt% 시 이 도핑된 5N AZO 타겟을 이용하여 약 1.0倒 두께로 증착하였다.
  • 뽄 논문에서는 RF sputtering 법과 ampoule-tube 법을 이용하여 ZnO:As/ZnO:AI homo-junction LED를 제작하고, 제작된 소자의 V니 cu「ve를 분석하였다.
  • 증착된 undoped ZnO 박막은 ampoule-tube 방식의 기상확산을 위해 ampo니e-tube 내에 로딩하고 진공을 5xW^7Torr 이하로 유지시키면서 산소와 수소플 이용하여 밀봉하여 제작하였다. ZnO p-n 접합을 위해 n-type ZnO 박막은 RF sputtering 방법으로 2 wt% 시 이 도핑된 5N AZO 타겟을 이용하여 약 1.

대상 데이터

  • V시 특성을 나타낸다. n-ZnO에 사용된 전극은 Ti/Au, p-ZnO 박막에 사용된 전극은 Ni/Au 픓 사용하였다. n-n 전극 간에서는 우수한 ohmie접촉이 형성됨을 확인하였고, p-p 전극 간에는 ohmic 접합 특성을 나타내고, 매우 큰 저항성툰읋 갖고 있으며 비선형 특성을 확인할 수 있었다.
  • 얖서 언급한 대로 p-type ZnO 박막 위에 n-type ZnO 박막을 증착하여 ZnO p-n 접합 다이오드플 제조하였다. 그림 2는 이렿게 제조된 ZnO p-n 접합 다이오드의 V니 특성을 나타낸다.
  • 2例 두께로 증착되었다. 증착에 사용된 기판은 (100) GaAs 2인치 웨이퍼를 이용하였다.

이론/모형

  • 그림 ampole-tube 법을 이용하여 제조된 ZnO p-n 접합 LED의 V-I 특성.
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