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Autoclave를 이용한 임프린트 공법 원문보기

한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집, 2007 Nov. 01, 2007년, pp.194 - 194  

곽정복 (SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS, Central R&D Institute) ,  이상문 (SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS, Central R&D Institute) ,  나승현 (SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS, Central R&D Institute)

초록
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기존 imprint공법으로 기계식 프레스를 많이 사용되고 있으며, 기계식 프레스를 이용하여 imprint시 균일하게 압력인가가 되지 않는 것을 알게 되었다 예를 들어 한쪽으로 많이 눌리고 다른쪽은 적게 눌려서 균일하게 패턴 전사가 되지 않아 imprint실험이 힘들었었다. 그리하여 Autoclave라는 공압장비를 알게 되었고 공기의 압력을 이용하여 imprint시 균일하게 압력인가가 전해지는 것을 알 수 있었다. Autoclave장비를 이용하여서 imprint가능성 확인과 기계식 장비와 공압식 장비의 차이점을 비교하여 설명을 하고자 함.

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