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NTIS 바로가기Nanotechnology (IEEE-NANO), 2016 IEEE 16th International Conference on, 2016 Aug, 2016년, pp.980 - 981
Xue, Gaopeng (Graduate School of Engineering, Tohoku University, Sendai 980-8579, JAPAN) , Toda, Masaya (Graduate School of Engineering, Tohoku University, Sendai 980-8579, JAPAN) , Ono, Takahito (Graduate School of Engineering, Tohoku University, Sendai 980-8579, JAPAN)
This paper presents an assembled comb-drive XYZ-microstage with large displacements for the scanning of magnetic resonance force microscopy (MRFM) at cryogenic environment. The scanning XYZ-microstage with little affection to the thermal variation and magnetic fields is required. The comb-drive XYZ-...
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